电子工业用气体 氯化氢
Gases for electronic industry—Hydrogen chloride
基础信息
标准号:GB/T 14602-2014发布日期:2014-12-22实施日期:2015-07-01上次复审日期:2016-12-31上次复审结论:继续有效全部代替标准:GB/T 24469-2009,GB/T 14602-1993标准类别:产品中国标准分类号:G86国际标准分类号:71.100.20 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门:国家标准委
起草单位
北京华宇同方化工科技开发有限公司佛山市华特气体有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司西南化工研究设计院有限公司光明化工研究设计院有限公司上海仪盟科技有限公司
起草人
张吉瑞孙福楠周鹏云杨任杜汉盛方华
相近标准(计划)
GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢SJ/T 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩GB/T 14604-2009 电子工业用气体氧GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷GB/T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯GB/T 26250-2010 电子工业用气体砷化氢GB/T 16944-2009 电子工业用气体氮
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