吸气剂成分分析测试方法

基础信息

标准号：GB/T 25494-2010发布日期：2010-12-01实施日期：2011-05-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效全部代替标准：GB/T 6625-1986,GB/T 6626.2-1986,GB/T 9506.3-1988标准类别：方法中国标准分类号：L90国际标准分类号：31.030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

南京华东赛斯真空材料有限公司中国电子科技集团公司第十二研究所工业和信息化部电子工业标准化研究所

起草人

薛函迎郭卫斌张巨先刘筠

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