微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则
Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-mechanical parameters
基础信息
标准号：GB/T 26112-2010发布日期：2011-01-10实施日期：2011-10-01上次复审日期：2023-12-28上次复审结论：继续有效标准类别：基础中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委
起草单位
天津大学西安交通大学太原理工大学中机生产力促进中心大连理工大学中原工学院
起草人
胡晓东丁红宇刘伟张苹
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