洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 6: Vocabulary
国家标准
推荐性
基础信息
标准号：GB/T 25915.6-2010发布日期：2011-01-14实施日期：2011-05-01上次复审日期：2025-05-30上次复审结论：继续有效标准类别：基础中国标准分类号：C70国际标准分类号：01.040.13 归口单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会执行单位：全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会主管部门：国家标准委
采标情况
本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14644-6:2007。采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第6部分:词汇。
起草单位
苏州市洁净室科技促进中心深圳市标准化研究院等中国电子学会洁净技术分会
起草人
王尧陈刚乐细明缪德骅涂有
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