真空镀膜设备通用技术条件
Vacuum coating plant generic specification
国家标准
推荐性
基础信息
标准号：GB/T 11164-2011发布日期：2011-11-21实施日期：2012-03-01上次复审日期：2025-08-06上次复审结论：修订全部代替标准：GB/T 11164-1999标准类别：基础中国标准分类号：J78国际标准分类号：23.160 归口单位：全国真空技术标准化技术委员会执行单位：全国真空技术标准化技术委员会主管部门：中国机械工业联合会
起草单位
北京北仪创新真空技术有限责任公司兰州真空设备有限责任公司中国航天科技集团第五研究院510研究所等上海曙光机械制造厂有限公司成都南光机器有限公司
起草人
陈月增谢钧荣温发兰范立群孙凯
相近标准(计划)
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